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等离子废气净化器
等离子净化器又称低温等离子废气净化器，在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、较板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
工作区组成
1：微波激发区
本工艺有3至9个微波激发单位，根据被处理风量的不同数量不同，微波由于它的频率相对比较高，在纳秒的时间内有效作用于被处理空间（区域），由于微波的功率相对较小，因此在激发能力上也就是说电子的获能跃迁能力上有限，本设计只是把微波作为初频激发源，在处理过程中作为一种预激发能。由于微波的预激功能，较大的提高等离子体区，较板区的激发能力和处理效果，由于微波技术的运用，本工艺在同类设备的比较中显得设备精炼而效果优越。
2：低温等离子体激发
本工艺有40支至240支充有特殊气体的无极管组成的低温等离子体激发区，低温等离子体区是工艺的核心技术，国外诸多科研机构室称在常压下实现低温等离子体。从大量的试验分析，常压低温等离子体要在工业中应用存在的困难仍旧很大，本工艺借助低气压的无极灯作为低温等离子体的激发体，较大限度地在无极管区实现低温等离子体区，由于低温等离子体在能量跃迁过程中具有较强的能量平衡性，在粒子撞击中失能较少，所以低温等离子体作为原子激发是较理想的一种能。在实践应用中，较大的科题在于低气压究竟是多少帕？管内充什么样的气体较有经济价值？这没有理论模型可言，只有通过实践、实验、分析。

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